美國艾里卡特質量流量計-雙閥壓力控制器性能參數：
性能/參數 ：雙閥系列雙閥壓力控制器
壓力量程：見下表
流通率：20SLPM以內
精度：±0.3%FS
高精度(調零后) ：±0.125% F.S(只針對1PSIG及以上的量程)
重復性：±0.08%FS
漂移(零點/滿量程)：0.02% F.S/ºC/Atm
工作范圍：0.5-
過壓：128% F.S(可測量)
大壓力：3*F.S
響應時間：100毫秒(調整)
容器體積,供給壓力,排氣壓力和管路尺寸均會影響反應時間
啟動預熱時間：1秒內
兼容氣體：所有非腐蝕氣體，注：另外耐腐蝕系列
工作溫度范圍：-10~60℃(另有高溫訂制品)
工作濕度范圍：0-RH(非冷凝)
耐壓：10Bar
安裝方向：任意
材質：SUS302303304不銹鋼、密封圈VITON
顯示屏：背光LCD顯示屏
數字信號：標準RS232
選配：RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet
以太網RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)
模擬信號：標準0-5V/1-5V/0-10V
選配：4-20mA
第二路模擬信號：標準0-5V/1-5V/0-10V
選配：4-20mA
電氣接口：標準圓形8芯
選配：圓形6芯、DB9、DB15
供電電壓：+24VDC
消耗電流：250mA
美國艾里卡特質量流量計-雙閥壓力控制器主要是采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制，所以氣體質量流量控制器的應用在工業中比較廣泛，作為一個相對精密的儀器，想要儀器有一個相對長久的使用壽命，就離不開我們在使用過程中做好維護，而且也要做好記錄。那么接下來我們就講一下氣體質量流量控制器的日常維護。
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